Методы исследования надежности наногетероструктурных монолитных интегральных схем

Учебное пособие. - Томск, ТУСУР, 2010. - 95 с.Приведены сведения об основных понятиях теории и количественных показателях качества и надежности наногетероструктурных монолитных интегральных схем; рассмотрены методы контроля качества, расчета и оценки надежности, ускоренных испытаний на надежность и долговечность, а также вопросы прогнозирования и повышения показателей качества и надежности интегральных схем.
Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
Основные понятия теории надежности. Свойства надежности.
Отказы интегральных схем.
Ускоренные испытания на надежность.
Радиационная стойкость и радиационные испытания интегральных схем.
Ускоренные испытания изделий для космической техники.